低能電子衍射是一種基本的表面儀器。它是分析表面的有效工具。它不僅能夠研究清潔的單晶（金屬、半導體及絕緣體）的表面結構，還能研究氣體吸附的結構。
　低能電子衍射儀由拒斥場分析器、低能電子槍、清洗離子槍、五維樣品架、進樣系統以及為其提供超高真空系統組成。
　東莞剎車電機絕緣分析儀器低能電子衍射在表面研究中大致起著三方面的功能：①認證表面的有序程序及表面的周期性和對稱性；②確定單胞內原子的位置；③測定表面的缺陷及缺陷隨溫度、時間和吸附量的變化。
　東莞剎車電機絕緣分析儀器低能電子衍射的激發源是低能量的電子束，只穿透表面幾層原子。低能電子衍射檢測的是彈性散射電子（只占散射電子的1%～5%），不同方向的電子通過相干散射而產生衍射，它用熒光屏來檢測衍射點。做低能電子衍射測試，要求樣品表面清潔完整。低能電子衍射實驗發現，單晶表面從原子水平上看是不規則的，也是不平整的，表面上存在平臺、臺階、扭折位、附加原子、平臺上空位等幾種不同的位置。
　低能電子衍射是一個研究表面結晶學的重要方法，從實驗可得到表面二維晶胞的大小、對稱性、表面重構、表面缺陷及相變等信息。